GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法

标准详情
  • 标准名称
  • 标准编号GB/T 32280-2022
    代替标准号:
标准简介

GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法替代GB/T 32280-2015《硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法》。

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